单项选择题
以下哪种不是影响刻蚀选择性的因素（）？
A.材料结构B.刻蚀气体浓度C.刻蚀时间D.刻蚀温度
单项选择题 刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？
单项选择题 以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？
