名词解释
PSM移相掩膜
相移掩膜上的电介质层在光刻版上开口部分以间隔的方式形成相移图形，通过没有相移涂敷开口部分的光线，会与通过有相移涂敷开口的......
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名词解释 正光刻胶
名词解释 光刻技术
问答题 什么是驻波效应？如何减小驻波效应
