问答题
什么是驻波效应？如何减小驻波效应
驻波效应：当曝光的光纤从光刻胶与衬底的界面反射时，会与入射的曝光光线产生干涉，会使曝光过度和不足的区域形成条纹状结构。......
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问答题 解释硬烘烤的目的。光刻胶硬烘烤过度和不足会产生什么问题？
问答题 解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
问答题 软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
