单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的发展方向（）？
A.多功能集成B.小型化C.低能耗D.单一化
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的故障类型（）？
单项选择题 以下哪种不是影响刻蚀机稳定性的因素（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的软件功能（）？
