问答题
干法刻蚀有高的还是低的选择比？
干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。
问答题 描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
问答题 列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。
问答题 刻蚀的目的是什么？
