影响扩散工艺中杂质分布的因素_在线考试题库网

微电子学

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影响扩散工艺中杂质分布的因素

【参考答案】

1、时间与温度，恒定表面源主要是时间。
2、硅晶体中存在其他类型的点缺陷

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