问答题 CZ法提单晶的工艺流程。说明CZ法和FZ法。比较单晶硅锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优缺点。

问答题 缩写中文含义 APCVD          HDPCVD LPCVD      PECVD PVD        BJT CD           CMOS CMP MIC ILD   MBE SOI      DUV MOCVD BSG PSG BPSG RTP RTA IC    LOCOS STI   LI VLSI CA FIB ARC ASIC RIE FIB EUV LDD

问答题 为溅射做一个简短的解释，并描述它的工作方式？溅射适合于合金淀积吗？溅射淀积的优点是什么？