问答题
为溅射做一个简短的解释,并描述它的工作方式?溅射适合于合金淀积吗?溅射淀积的优点是什么?
溅射是物理气相淀积形式之一,是一种薄膜淀积技术。工作方式:在溅射过程中,高能粒子撞击具有高纯度的靶材料固体平......
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问答题 什么是阻挡层金肩?阻挡层材料的基本特性是什么?哪种金属常被用做阻挡层金属?
问答题 列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
问答题 描述沟道效应。列举并简要解释控制沟道效应的三种机制。