问答题
什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
透镜收集衍射光的能力被称做透镜的数值孔径，NA=(n)t透镜的半径除以透镜的焦长。
问答题 解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
问答题 DUV波长曝光时使用哪种透镜材料？
问答题 典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少？
