问答题
解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
透镜压缩是透镜材料结构上的重新排列导致透镜材料增密，压缩发生在透镜材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿过区域的透镜材料......
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问答题 DUV波长曝光时使用哪种透镜材料？
问答题 典型的DUV光刻胶曝光剂量的宽容度是多少？
问答题 哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
