单项选择题
减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。
A.低温刻蚀B.分步刻蚀C.优化刻蚀气体D.以上都是
单项选择题 刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。
单项选择题 刻蚀机的控制系统通常采用（）。
单项选择题 提高刻蚀选择性的方法包括（）。
