问答题
掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？
①把所需图形在晶圆表面上定位或对准②通过曝光灯或其他辐射源将图形转移到光刻胶涂层上对准原则：......
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问答题 简述光刻胶的分类，谈谈正胶和负胶的区别。
问答题 列出光刻工艺的十个步骤，并简述每一步的目的。
问答题 光刻技术的图形转移分为哪两个阶段？
