问答题
列出光刻工艺的十个步骤，并简述每一步的目的。
①表面准备：清洁和干燥晶圆表面②涂光刻胶：在晶圆表面均匀涂抹一薄层光刻胶③软烘培：加热，部分蒸发......
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问答题 光刻技术的图形转移分为哪两个阶段？
问答题 什么叫做光刻，光刻有何目的？
问答题 说明金属CVD的优势和主要用途。
