问答题
说明金属CVD的优势和主要用途。
LPCVD可以应用于制作金属薄膜优势：①不需要昂贵的高真空泵；②台阶覆盖性好；......
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问答题 金属化的实现方法有几种？请论述真空溅射方法。
问答题 VLSI对金属化的要求是什么？
问答题 PECVD的机理？PECVD有何优势？
