问答题
PECVD的机理？PECVD有何优势？
机理：等离子体由中性原子团、游离基、分子、离子、少量高能电子组成。 优势：可以较低温度下淀积薄膜，常是低温与低压结合
问答题 淀积技术包括哪两种？
问答题 为什么要采用掺氯氧化，作用如何？
问答题 比较干氧化、湿氧化和水汽氧化的特点。
