问答题
MEMS的优点和特点是什么？
MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点......
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问答题 MEMS的定义是什么？
问答题 MEMS的英文名是什么？
问答题 气敏传感器的特性？
