名词解释
激发-松弛碰撞
当电子和原子或者分子碰撞时，电子没有脱离核的束缚，而是跃迁到更高的能级叫激发。处于激发状态的电子落回到基态或者最低能级叫......
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名词解释 离子化碰撞
问答题 简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
问答题 等离子体工艺在半导体制造中的应用
