问答题
列举离子注人优于扩散的7点。
1.精确控制杂质含量。2.很好的杂质均匀性。3.对杂质穿透深度有很好的控制。4.产生......
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问答题 离子注入通常在什么工艺之后？
问答题 列举用于硅片制造的5种常用掺杂。
问答题 列出并阐述刻蚀多晶硅的三个步骤。
