填空题 曝光后显影时感光的胶层没有溶解，没有感光的胶层溶解，这种胶为（）（正/负）胶。

判断题 在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是表面反应速率控制

单项选择题 下面选项属于主扩散的作用有（）。  1.调节表面浓度 2.控制进入硅表面内部的杂质总量 3.控制结深