问答题
负胶的两大缺点是什么。
在显影时曝光区域由溶剂引起的泡胀;曝光时光刻胶可与氮气反应从而抑制其交联 。
问答题 列出并描述I线光刻胶的4种成分。
问答题 什么是负胶分辨率的限制,哪种胶应用在亚微米光刻胶中?
问答题 列出并描述两种主要的光刻胶。