单项选择题
刻蚀机的故障诊断方法包括（）。
A.传感器监测B.数据分析C.人工检查D.以上都是
单项选择题 减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。
单项选择题 刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。
单项选择题 刻蚀机的控制系统通常采用（）。
