单项选择题
提高刻蚀速率的方法不包括（）。
A.增加刻蚀气体流量B.提高温度C.降低压力D.减小刻蚀面积
单项选择题 刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。
单项选择题 刻蚀机的精度主要取决于（）。
单项选择题 湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。
