单项选择题 加工速度提高，可使（）来不及传给工件，因而工件基本保持冷态，热变形小，有利于加工精度的提高。

单项选择题 基于扫描探针显微镜（SPM）的纳米加工技术通过有效的控制，可以实现原子（）结构。

单项选择题 基于扫描探针显微镜（SPM）的纳米加工技术可有效的控制以达到原子级的加工，不能实现的是（）。