单项选择题 纳米微粒（），在熔点、磁性、热阻、电学性能、光学性能、化学活性和催化性等方面都发生了变化，产生一系列奇特的性质。

单项选择题 光刻加工曝光中，由光源发出的光束经掩膜在光致抗蚀剂上成像，称为（）曝光。

单项选择题 光刻加工中，（）是整个加工过程中需要处理的原料。