单项选择题 光刻加工曝光中，由光源发出的光束经掩膜在光致抗蚀剂上成像，称为（）曝光。

单项选择题 光刻加工中，（）是整个加工过程中需要处理的原料。

单项选择题 微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。