单项选择题 光刻加工中，（）是整个加工过程中需要处理的原料。

单项选择题 微机械采用和（）类似的方法生产，可以像超大规模集成电路芯片一样一次制成大量的完全相同的部件。

单项选择题 超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。