填空题
曝光后显影时感光的胶层溶解了，没有感光的胶层不溶解留下了，这种胶称为（）胶。
正
填空题 干法刻蚀适用于（） （粗/细）线条。
判断题 扩散只用于浅结的制备
判断题 在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制
