填空题 超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。

单项选择题 逐点比较法插补的特点是运算直观、输出脉冲均匀且速度变化小，其插补误差（）

单项选择题 闭环控制系统与半闭环控制系统的主要区别是（）