问答题
请阐述扩散的局限性。
与离子注入工艺相比，扩散工艺的局限性在于：1）扩散是各向同性的，其掩膜下方会有严重的横向扩散效应，因而不适于......
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问答题 实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法？
问答题 为什么氧化层厚度越厚，热氧化生长的速率越慢？
问答题 Si片定位边或定位槽的作用是什么？
