单项选择题
刻蚀机的性能提升对（）产业发展具有重要意义。
A.半导体B.农业C.服务业D.以上都不是
单项选择题 刻蚀机的刻蚀精度可以通过（）。
单项选择题 刻蚀机的故障预警系统主要依据（）。
单项选择题 刻蚀机在微机电系统制造中的应用是（）。
