单项选择题
刻蚀机在微机电系统制造中的应用是（）。
A.制作微结构B.沉积薄膜C.检测微缺陷D.封装微器件
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的市场竞争因素（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的发展方向（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的故障类型（）？
