问答题
氮化硅在IC芯片上的用途
1、硅局部氧化形成过程中,作为阻挡氧气扩散的遮蔽层。2、作为化学抛光的遮挡层。3、用于形成侧壁空......
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问答题 影响扩散工艺中杂质分布的因素
问答题 简述栅氧化层生长的典型干法氧化工艺流程
问答题 列举IC芯片制造过程中热氧化SiO2的用途?