问答题
简述电子束曝光的特点
1）优点：分辨率比光学曝光高；无需光刻板；曝光自动化，加工精度高；在真空中进行；可直接观察曝光的质量。2）缺......
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问答题 微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？
名词解释 外延
名词解释 恒定源扩散
