多项选择题

A.二次电子-表面微观形貌-二次电子探头
B.背散射电子-原子村度和表面微观形貌-背散射探头
C.特征X射线-微区化学成份-EDS探测器
D.俄歇电子-表面微观形貌和微区成份-俄歇能谱仪