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微电子学

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填空题

肖特基接触呈现(),肖特基结的高低由()差决定;欧姆接触呈现()特性,接触电阻可以低到10-7欧姆·厘米。IC的互连线金属要求与半导体衬底实现(),所以,源、漏、多晶硅等的掺杂浓度必须高于()。

【参考答案】

二极管特性;金属功函数和半导体表面功函数;线性;欧姆接触;1020/cm3

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