问答题
简述离子注入工艺在元器件中的应用
(1)阱区注入。(2)对重度阱区注入,抑制结击穿效应。(3)调整阈值电压。(4)多晶......
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问答题 离子注入后为什么要进行热退火
问答题 简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
填空题 离子注入的两种阻滞机制:()