问答题
离子注入后为什么要进行热退火
离子注入的过程中，离子与晶格原子碰撞会使原子从晶格的束缚能中释放出来。热退火可以修复单晶结构并激活掺杂物。
问答题 简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
填空题 离子注入的两种阻滞机制：（）
问答题 离子注入工艺和扩散工艺相比的优点
