单项选择题
刻蚀机的维护保养重点在于（）。
A.清洁刻蚀腔B.更换零部件C.校准仪器D.以上都是
单项选择题 提高刻蚀速率的方法不包括（）。
单项选择题 刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。
单项选择题 刻蚀机的精度主要取决于（）。
