问答题
陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？
R.K*入/NA 1，波长 入 2，数值孔径NA 3，工艺因子K
问答题 什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
问答题 解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
问答题 DUV波长曝光时使用哪种透镜材料？
