单项选择题
在温度相同的情况下，制备相同厚度的氧化层，分别用干氧，湿氧和水汽氧化，哪个需要的时间最长？（）
A.干氧 B.湿氧 C.水汽氧化
名词解释 欧姆接触
问答题 简述电子束曝光的特点
问答题 微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？
