问答题
SiO2-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？
有5种。Li RB+ Cs+&e......
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问答题 为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
问答题 离子注入后的RTA流程
问答题 氮化硅在IC芯片上的用途
