多项选择题 增量式旋转测量装置或直线测量装置的输出信号的形式有（）。

多项选择题 磁栅尺是其位置检测元件之一，磁栅是由（）组成的。

多项选择题 在位置检测装置的故障诊断中，造成“坐标轴振动进给”的原因是（）。