多项选择题 磁栅尺是其位置检测元件之一，磁栅是由（）组成的。

多项选择题 在位置检测装置的故障诊断中，造成“坐标轴振动进给”的原因是（）。

多项选择题 为保证工作台运动时始终具有稳定的速度和精确的定位，控制上采用三环结构，即（）。