问答题
列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？
优点：1.刻蚀剖面是各向异性，具有非常好的侧壁剖面控制2.好的CD控制。3.最小的光......
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问答题 干法刻蚀有高的还是低的选择比？
问答题 描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
问答题 列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。
