单项选择题
刻蚀机在集成电路制造中的作用是（）。
A.形成电路图形B.沉积金属层C.检测电路缺陷D.封装芯片
单项选择题 刻蚀机的故障诊断方法包括（）。
单项选择题 减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。
单项选择题 刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。
