填空题
电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）、（）和（）四个阶段。
介质电离击穿；介质热分解、电极材料熔化、气化；蚀除物抛出；间隙介质消电离
填空题 金刚石晶体的激光定向原理是利用金刚石在不同结晶方向上（）进行的。
填空题 精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。
填空题 超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。
