名词解释
分解碰撞
当电子和分子碰撞时，碰撞的能量比分子的化学键能量高，打破了化学键的自由基。叫分解碰撞。
名词解释 激发-松弛碰撞
名词解释 离子化碰撞
问答题 简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
