问答题
注入束中的中性原子是如何形成的？它有什么害处？如何避免？
原因：在离子束的传输过程中，由于离子与残余气体分子的碰撞等原因，离子俘获电子成中性原子害处：中性原子不带电，......
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问答题 离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。
问答题 什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？
填空题 单晶硅太阳能电池采用（）表面来增加表面积，用沉积Si3N4作（）膜来降低入射光的反射，用在扩散层表面氧化生长（）nm的钝化层，改变表面层硅原子价键失配，减少表面复合，提高短路电流。用PECVD法沉积Si3N4时，反应中大量的原子H可以降低钝化层与表层硅界面的（）
