问答题
如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？
光波长减小分辨率提高。
问答题 列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。
问答题 陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？
问答题 什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
