问答题
列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。
两种主要的光反射问题是反射切口和反射驻波，在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口，光刻中......
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问答题 陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数？
问答题 什么是数值孔径（NA），陈述它的公式，包括近似公式？
问答题 解释透镜压缩是怎么发生的，它产生了什么问题？
